测量原理是红外单线吸收光谱法，这是基于每种气体在特定波长有不同的吸收线这一事实。

激光波长在被选定的待测气体吸收线位置进行扫描。优选的吸收线可以避免来自其他(背景)气体的交叉干扰。由于发射单元和接收单元的光程间目标气体分子的吸收，所检测到的光强度随激光波长函数变化。